藍寶石長晶爐

~除了最初開始的下晶種期間，Axis將完全不需使用到人力，是相較於傳統與常見生產模式的一項重大突破。Axis長晶爐的藍寶石晶體生產能力，其有價值的幅度大小範圍可從每顆38到85公斤，能夠鑽取出直徑從2~6英寸的晶柱，這在早期的長晶設備是不可能達到的。產出純度99.997％的達成率已遠超出市場標準，佰洋科技的Axis保證了更具競爭力的產出品質。Axis長晶爐的單位時間內，其產能也高於與我們最接近的競爭對手。在一定的時間內，我們長晶爐的晶體產量以及晶體產出的品質，將遠大於您的競爭對手水準。佰洋科技最小的原型 -- Axis之月產量能維持在超過3,000〜3,500毫米的2"晶棒，或800〜1,000毫米的4"晶棒。由於KY泡生製程中涉及的溫度超過2,100℃，能源消耗是最大的成本投入。佰洋科技的Axis系列長晶爐的專利熱場和冷卻系統不僅提供了一個非常穩定且控制良好的長晶環境，晶體錯位的可能性幾乎被排除，同時也能永續地有效節省能源。當晶棒從晶體鑽取出來之後，佰洋科技通過環狀生產過程，可以將廢棄的藍寶石單晶透過循環再利用於後續的晶棒生產中。我們的研究團隊，包含在電子機械，自動化控制，工藝工程和設備工程的合格專家們將不斷提升與重新定位佰洋科技目前的優勢，不斷的呈現給您在同行業中最新的技術，以確保您的競爭優勢，正如同我們不斷地在保持我們的競爭優勢。

 

Axis長晶爐的規格

技術參數
晶體重量 38~85kg
坩堝外部尺寸 Ø250mm X 410mm(H) for 38 kg
Ø320mm X 450mm(H) for 65 kg
Ø320mm X 500mm(H) for 85 kg
坩堝材質 鎢
加熱方式 Resistive
加熱器材質 鎢
腔體內之工作壓力 ≤5 X 10-5 torr
腔體尺寸 Ø800mm X 1000mm (H)
生成38及65公斤晶體耗電量 ≤45 kW
維持電源之準確性 ± 0.1%
晶桿的工作位移 250 mm
晶桿位移率(無段式調整) 0.1-10.0 mn/hr
維持效能之準確性 ±1%
冷卻系統
冷卻水消耗 ≤3.5 m3/hr
冷卻水進水壓力 ≥2.0 kg/cm2
工作壓力(氬或氮)
製程消耗 ≤0.5m3
進氣端建議工作壓力 1.0 kg/cm2
氣動系統
進氣端壓力(氮，氬) ≥4.0 kg /cm2
製程氣體消耗量(氮，氬) 0.01m3
電力需求
電源 2*(380±38)V+N
主要頻率 50±0.4 Hz
加熱器額定功率 45kw
加熱器最大功率 70kw
加熱器電源電壓 0-12V
控制箱電源 3*(380 ±38)V+N
機台外型尺寸
高度 3200mm
長度 2200mm
寬度 2050 mm
重量(不含電子裝置) ≤1100 kg

 

全方位解決方案

佰洋科技全方位的提供與支援高純度,高體積的藍寶石晶體和晶棒所需的生產能力。無論是為了新進入藍寶石的單晶產業，或是為了維持和擴大現有的藍寶石晶棒生產，佰洋科技都為了各方面的啟始與支援提供了全方位服務

 

Axis-T自動監控高品質藍寶石長晶機銷售﹕
提供晶體生長與加工製程之產線實際觀摩與交流。
藍寶石生長技術服務與諮詢。
藍寶石加工技術服務與諮詢。
藍寶石晶體檢測服務與諮詢。
模擬設備提供人員教育訓練。
提供各種晶種訂作及原物料銷售。
提供熱場銷售及OEM (工廠自行開發與製作)。
提供製程、生產、加工、自動化等整廠技術轉移服務。
提供藍寶石晶棒、晶片專業加工及檢測設備銷售。